AMCs: Molekulare Kontaminationen in der Luft. In modernen Reinräumen für die Fertigung muss die Luft nicht nur so rein wie möglich sein, sondern es werden auch strenge Sauberkeitsanforderungen an Rohstoffe, Chemikalien und Produktionsanlagen (die sich alle extremen Reinheitsgraden nähern) in unmittelbarer Nähe auferlegt. Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Druck, Luftströmungsgeschwindigkeit und molekulare Luftverunreinigungen wie luftgetragene molekulare Verunreinigungen (AMCs) im Reinraum müssen streng kontrolliert werden, um eine hohe Produktausbeute zu gewährleisten
Warum eine strenge Kontrolle von luftgetragenen molekularen Kontaminanten (AMCs) notwendig ist.
Die atmosphärische Luft enthält Mikrometer pro Kubikmeter (ppb) an luftgetragenen molekularen Schadstoffen (AMCs). Darüber hinaus führt die Verwendung zahlreicher chemischer Reagenzien, die durch das Entladungssystem in die Atmosphäre gelangen, bei der Herstellung von Photovoltaik zu Diffusionseffekten, die leicht zu einer sekundären Verschmutzung des Herstellungsprozesses führen und sich dadurch auf die Produktausbeute auswirken.