AMCs
Klassifizierung von AMCs durch die International Semiconductor Industry Association (SEMI)
SEMI F21-1016 Klassifizierung der Konzentrationen von molekularen Schadstoffen in der Luft in sauberen Umgebungen
Die Gefahren von AMCs
- Bildung eines chemischen Gasfilms auf der Oberfläche Reinheit der Silikonoberfläche Sauberkeit des Glassubstrats Oberfläche der optischen Linse Metalloberfläche der Kunststoffoberfläche
- Änderung von Oberflächeneigenschaften Chemische Eigenschaften (z. B. Metallkorrosion) Elektrische Eigenschaften (z. B. Ionenimplantation) Physikalische Eigenschaften (z. B. Oberflächenmodifikation, Erzeugung statischer Ladung) Optische Eigenschaften (z. B. Änderungen des Lichtwiderstands, Photolithographie-Ausbeute)
- Bildung von Feinstaub "Nebel" NH3 + SO2 → Salz Alkalisches Gas + saures Gas → Salz
- EHS-Anforderungen für die Reinraumumgebung (VOCs, saure Gase) Schädigung der Gesundheit und des Wohlbefindens der Mitarbeiter Chemikaliensicherheitsanwendungen und Anforderungen an Reinraumrisiken, wie z. B. UL und FM...