1. AMC - Internationaler Verband für Halbleitertechnologie und -materialien SEMI
Als wichtiges Mitglied im Bereich der Filter spielen chemische Filter aufgrund ihrer Professionalität und Besonderheit eine entscheidende Rolle. Zu den Hauptmerkmalen gehören: hocheffiziente Filtration, Korrosionsbeständigkeit bei hohen Temperaturen, eine Vielzahl von Filtermaterialien zur Auswahl, bequeme Installation und Wartung sowie Intelligenz usw.
Chemische Filter sind die wichtigsten Helfer bei Lösungen zur Kontrolle gasförmiger Schadstoffe. AMC kann weiter in vier Typen eingeteilt werden: MA, MB, MC und MD. MA ist eine korrosive Substanz, und ihre chemische Reaktionseigenschaft ist ein Elektronenakzeptor. Dazu gehören in der Regel Flusssäure, Chlorgas, Schwefelsäure und andere Substanzen, die bei Photolithographie- und Ätzprozessen entweichen.
MB ist eine korrosive Substanz, deren chemische Reaktionseigenschaften Elektronendonatoren sind, einschließlich NH3 und Amine. MC bezieht sich im Allgemeinen auf organische Verbindungen, die unter Normaldruck einen Siedepunkt von mehr als 150 °C haben und dazu neigen, auf der Oberfläche von Objekten zu kondensieren. MD bezieht sich auf ein chemisches Element, das die elektrische Leitfähigkeit von Halbleitermaterialien verändern kann.
2 、 Der Installationsort von chemischen Filtern muss die spezifischen Anwendungsszenarien berücksichtigen. Zu den wichtigsten Überlegungen gehören: die Quelle der Schadstoffe, die Effizienz der Behandlung und das Systemdesign usw. Sie werden in der Regel in Systemen wie Frischluftklimakästen, Umluftklimakästen, Lüfterfiltereinheiten und Mikroumgebungsenden installiert.
3 、 Die Steuerung von AMC kann durch die Verwendung eines Gasphasen-Luftfiltersystems erreicht werden, bei dem ein oder mehrere Trocknungs- und Reinigungsmedien verwendet werden. Die Auswahl der chemischen Filtermaterialien in diesem System zeichnet sich durch Vielfalt und Intelligenz aus und bietet dem Anwender gezieltere Möglichkeiten.
4 、 Chemische Filter werden häufig in industriellen Produktionsprozessen wie Galvanik, Halbleiterherstellung, medizinischer Versorgung, Labors und Umweltschutzbehandlung eingesetzt. Sie sorgen für die Sicherheit der Produktionsumgebung, indem sie saure/alkalische Gase und organische Abgase adsorbieren und neutralisieren.
